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HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵真空干泵具有(50dBA)和低振動(dòng)運(yùn)行的， 密封設(shè)計(jì)(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險(xiǎn)。

HMDS專用烘箱，HMDS真空涂膠系統(tǒng)適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機(jī)即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機(jī)臺(tái)。

OAP烘箱，OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面，變?yōu)槭杷裕瑥亩_(dá)到增加光刻膠粘附性的作用。

HMDS蒸鍍烤箱，可程式HMDS機(jī)臺(tái)通過對(duì)烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)

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